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阴极发光是一（yī）种光谱分析方法，通过（guò）电子束轰击（jī）材（cái）料产生发光后，用来在局（jú）部范围（wéi）内鉴别材料中的点缺陷和杂质缺陷，应用于微电子，半导体材料，绝缘体，地质学和矿（kuàng）物学等领域（yù）。
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